В середине 1980-х годов Беклемышев, Аллрн и другие ученые объединили лазерную технологию и технологию очистки для практических нужд и провели соответствующие исследования. С тех пор родилась техническая концепция лазерной очистки (Laser Cleanning). Хорошо известно, что связь между загрязняющими веществами и субстратами. Сила связи делится на ковалентную связь, двойной диполь, капиллярное действие и силу Ван-дер-Ваальса. Если эту силу удастся преодолеть или разрушить, эффект дезактивации будет достигнут. Лазерная очистка — это использование лазерных лучей, обладающих характеристиками большой плотности энергии, управляемого направления и высокой способности сходимости, так что сила связи между загрязняющими веществами и подложкой разрушается или загрязняющие вещества испаряются напрямую для обеззараживания и уменьшения количества загрязняющих веществ. Прочность сцепления с матрицей, а затем достижение эффекта очистки поверхности заготовки. Когда загрязнения на поверхности заготовки поглощают энергию лазера, они быстро испаряются или мгновенно расширяются после нагрева, чтобы преодолеть силу между загрязнениями и поверхностью подложки. Из-за повышенной энергии нагрева частицы загрязнения вибрируют и падают с поверхности подложки. Весь процесс лазерной очистки можно условно разделить на 4 этапа, а именно: лазерное испарение и разложение, лазерное удаление, тепловое расширение частиц загрязняющих веществ, вибрация поверхности подложки и отделение загрязняющих веществ. Конечно, при применении технологии лазерной очистки вы также должны обратить внимание на порог лазерной очистки очищаемого объекта и выбрать соответствующую длину волны лазера для достижения наилучшего эффекта очистки. Лазерная очистка может изменить структуру зерна и ориентацию поверхности подложки, не повреждая поверхность подложки, а также может контролировать шероховатость поверхности подложки, тем самым улучшая общие характеристики поверхности подложки. На эффект очистки в основном влияют такие факторы, как характеристики луча, физические параметры подложки и материала грязи, а также способность грязи поглощать энергию луча. В настоящее время технология лазерной очистки включает в себя три метода очистки: технологию сухой лазерной очистки, технологию влажной лазерной очистки и технологию ударно-волновой лазерной плазмы. 1. Сухая лазерная очистка означает, что импульсный лазер воздействует непосредственно на заготовку, так что подложка или поверхностные загрязнения поглощают энергию и температура повышается, что приводит к тепловому расширению или тепловой вибрации подложки, тем самым разделяя их. Этот метод можно грубо разделить на две ситуации: первая заключается в том, что поверхностные загрязняющие вещества поглощают лазер и расширяются; во-вторых, подложка поглощает лазерное излучение, вызывая тепловую вибрацию. 2. Влажная лазерная очистка заключается в предварительном нанесении жидкой пленки на поверхность перед облучением заготовки импульсным лазером. Под действием лазера температура жидкой пленки быстро повышается и испаряется. В момент испарения образуется ударная волна, которая воздействует на частицы загрязняющих веществ. , Сделайте так, чтобы он отвалился от подложки. Этот метод требует, чтобы подложка и жидкая пленка не вступали в реакцию, поэтому область применения материалов ограничена. 3. Ударная волна лазерной плазмы представляет собой сферическую ударную волну плазмы, генерируемую разрушением воздушной среды в процессе лазерного облучения. Ударная волна воздействует на поверхность промываемой подложки и высвобождает энергию для удаления загрязняющих веществ; лазер не воздействует на подложку, поэтому не повреждает подложку. Технология лазерной плазменной ударно-волновой очистки теперь может очищать загрязняющие частицы размером в десятки нанометров, а длина волны лазера не ограничена. В реальном производстве различные методы испытаний и связанные с ними параметры должны быть специально выбраны в соответствии с потребностями для получения высококачественных чистящих изделий. В процессе лазерной очистки эффективность очистки поверхности и оценка качества являются важными показателями для определения качества технологии лазерной очистки.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
