Основная классификация датчиков:
По назначению
Датчики, чувствительные к давлению и силе, датчики положения, датчики уровня, датчики энергии, датчики скорости, акселерометры, датчики излучения, термодатчики.
По принципу
Датчик вибрации, датчик влажности, магнитный датчик, датчик газа, датчик вакуума, биосенсор и т. д.
Нажмите выходной сигнал
Аналоговый датчик: преобразует измеренную неэлектрическую величину в аналоговый электрический сигнал.
Цифровой датчик: преобразует измеренные неэлектрические величины в цифровые выходные сигналы (как прямые, так и косвенные).
Цифровой датчик: преобразует измеренный семафор в выходной сигнал частоты или сигнала короткого цикла (включая прямое или косвенное преобразование).
Датчик переключения: когда измеренный сигнал достигает определенного порога, датчик соответственно выдает установленный низкий или высокий сигнал.
По производственному процессу
Интегральные датчики изготавливаются по стандартной технологии производства полупроводниковых интегральных схем на основе кремния.
Часть схемы, используемой для первоначальной обработки тестируемого сигнала, также обычно интегрируется в тот же чип.
Тонкопленочный сенсор образован пленкой соответствующего чувствительного материала, нанесенной на диэлектрическую подложку (подложку). При использовании процесса смешивания часть схемы также может быть изготовлена на этой подложке.
Толстопленочный датчик изготавливается путем нанесения суспензии соответствующего материала на керамическую подложку, которая обычно изготавливается из Al2O3, с последующей термообработкой для образования толстой пленки.
Керамические датчики изготавливаются с использованием стандартных керамических процессов или некоторых их вариаций (золь, гель и т. д.).
После завершения соответствующей подготовительной операции сформированный компонент подвергается спеканию при высокой температуре. Есть много общих характеристик между двумя процессами толстопленочных и керамических сенсоров. В некоторых отношениях толстопленочный процесс можно рассматривать как вариант керамического процесса.
Каждый технологический процесс имеет свои преимущества и недостатки. Керамические и толстопленочные датчики более разумны из-за
